1 气动技术应用情况及研究和发展的重要性
随着科学技术的发展，自动控制技术已被广泛应用于工农业生产和国防建设。实现自动化的技术手段，在目前主要有两个：电气(电子)控制和流体动力控制。流体动力控制有三类：(1)液压控制，工作流体主要是矿物油。(2)气压控制，工作介质主要是压缩空气，还有燃气和蒸气。(3)射流技术，工作介质有气体也有液体，该技术在一些多管道的生产流程中得到应用〔1〕。
气压伺服控制是以气体为工作介质，实现能量传递、转换、分配及控制的一门技术。气动系统因其节能、无污染、结构简单、价格低廉、高速、高效、工作可靠、寿命长、适应温度范围广、工作介质具有防燃、防爆、防电磁干扰等一系列的优点而得到了迅速的发展〔2〕。众多的报道表明，气动技术是实现现代传动和控制的关键技术，它的发展水平和速度直接影响机电产品的数量和水平，采用气动技术的程度已成为衡量一个国家的重要标志〔3〕。
据资料表明，目前气动控制装置在自动化中占有很重要的地位，已广泛应用于各行业，现概括如下：(1)绝大多数具有管道生产流程的各生产部门往往采用气压控制。如：石油加工、气体加工、化工、肥料、有色金属冶炼和食品工业等。(2)在轻工业中，电气控制和气动控制装置大体相等。在我国已广泛用于纺织机械、造纸和制革等轻工业中。(3)在交通运输中，列车的制动闸、货物的包装与装卸、仓库管理和车辆门窗的开闭等〔3〕〔4〕。(4)在航空工业中也得到广泛的应用。因电子装置在没有冷却装置下很难在300℃～500℃高温条件下工作，故现代飞机上大量采用气动装置。同时，火箭和导弹中也广泛采用气动装置。(5)鱼雷的自动装置大多是气动的，因为以压缩空气作为动力能源，体积小、重量轻，甚至比具有相同能量的电池体积还要小、重量还要轻。 (6)在生物工程、医疗、原子能中也有广泛的应用。(7)在机械工业领域也得到广泛的应用。
从气动的特点和应用情况可知，研究和发展气动技术具有非常重要的理论价值和实际意义。气动技术在美国、法国、日本、德国等主要工业国家的发展和研究非常迅速，我国于七十年代初期才开始重视和组织气动技术的研究。无论从产品规格、种类、数量、销售量、应用范围，还是从研究水平、研究人员的数量上来看，我国与世界主要工业国家相比都十分落后。为发展我国的气动行业，提高我国的气动技术水平，缩短与发达国家的差距，开展和加强气动技术的研究是很必要的。
2 电—气伺服控制的发展概况
气动伺服控制系统按其采用的电—气转换元件的不同可分为电—气比例伺服系统和电—气开关伺服系统。电—气比例伺服系统模拟信号控制的比例阀或伺服阀作电 —气信号转换元件。这类系统控制精度高、响应较快，但伺服阀或比例阀造价昂贵，因而系统成本高，而且对工作环境要求严。
早在1956年，Shearer等人成功地将高压、高温气体作为工作介质的气动伺服机构应用于航天飞行器及导弹的姿态和飞行稳定控制中〔6〕〔7〕〔8〕〔9〕。由于空气压缩性大、粘度小、刚度低，对于低压系统很难用古典控制方法和模拟调节器实现精密伺服控制，因此，气动伺服控制长期停留在理论和实验阶段。1979年德国Aachen R.W工业大学W.Backe'教授研制出的第一个气动伺服阀大大推进了气动伺服控制的发展〔10〕。此后，德国、日本、美国等工业发达国家投入大量资金和人力成功地研制了各种规格的比例阀和伺服阀，以及高性能的气缸、气马达〔11〕〔12〕〔13〕。随着高性能的电—气控制元件和执行元件的迅速发展，气动伺服控制技术的研究也取得了一定的成果〔14〕〔15〕。我国的周洪博士、陈大军博士对电—气比例/伺服系统及其控制策略进行了研究。此外，哈尔滨工业大学许耀铭教授承担国家高技术“863”计划自动化领域智能机器人主课题中的“电—气伺服系统及其电—气伺服器件的开发研究”，取得了一定的成果〔16〕。
电—气开关/伺服系统采用数字信号控制的开关阀作电—气信号转换元件。这类系统成本低，对工作环境要求不高，且易于计算机控制；但获得宽频带、高精度比较困难。开关/伺服控制最早出现在液压系统中〔17〕，Burrows最先将开关/伺服控制用于气动伺服机构中〔18〕〔19〕。八十年代初，T.Eun等人设计了一种新的气动开关伺服机构，并详细研究了该机构的稳定性和精度〔20〕。以上的开关伺服机构都是通过简单的逻辑判断来反馈气缸位置，只能实现点到点(PTP)控制，而且精度很低。这期间，G.Belforate等人将机车制动技术引入气动机构，设计了一种带抱闸实现气缸在目标位置定位。这种气动开关伺服机构受负载等干扰的影响大，但定位后的刚度大，其定位精度约±0.3mm。
后来，日本的花房秀郎、原田正一等人用开关阀、节流阀的串并联实现气缸的分区控制，获得±0.4mm的定位精度。意大利的G.Belforate等人也对这种系统进行了研究，他采用的是无密封装置气缸和FESTO公司的开关阀、单向节流阀及FPC606微处理器等元件。理论上，这种控制能获得± 0.0314mm定位精度，实际系统受间隙的影响，获得定位精度约±0.35mm〔21〕。北京航空航天大学莫松峰博士用三个开关阀组成一个新的气动位置开关控制系统〔22〕，实验结果表明，该系统具有实现简单、方便、成本低且性能好等优点。
以上的气动开关控制系统，尽管采用了位移传感器，但位移信号只是作为逻辑判断用，没有用来调节控制信号的大小，其本质上仍是开环控制，或者说是准闭环控制。因此，这种系统的特点是成本低、控制简单；但精度进一步提高受到限制。随着控制指标的提高，气动开关控制向脉冲调制的开关/伺服控制发展。脉冲调制方式有脉宽调制(PWM)、脉冲编码调制(PCM)、脉冲数调制(PNM)及脉频调制(PFM)等〔23〕〔24〕。
PWM控制原理是用一定周期Ts的脉冲信号驱动开关阀(见图1)，用控制信号控制脉冲宽度DiTs(i=1，2，…，n)，即开关阀的关闭时间。因此，控制Di的大小宏观上等价于控制流过阀的介质流量〔25〕〔26〕〔27〕。典型的气动PWM控制回路
